材质 | 高纯黄金 | 用途 | 溅射镀膜 |
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纯度 | 99.99-99.999 | 规格 | 按要求定做 |
尺寸 | 按要求加工 | 货期 | 15工作日 |
价格 | 金原料价+35元/g加工费 |
名称:金靶材
英文名称:Gold Target
基本参数:密度19.32g/cm3 色泽:金黄色,黄色,亮黄
熔点1064.2℃ 沸点2808℃
质地坚韧、有延展性、顺磁性
金靶材物理性质
金靶材是用于真空镀膜行业溅射靶材中的一种,是高纯金或超高纯金经过系列加工后的产品,具有特定的尺寸和形状高纯金材料。
金靶材用途:
适用于直流二极溅射、三极溅射、四级溅射、射频溅射、对向靶溅射、离子束溅射、磁控溅射等,可镀制反光膜、导电膜、半导体薄膜、电容器薄膜、装饰膜、保护膜、集成电路、显示器等。
金靶材的分类:溅射用金靶材和蒸发用金靶材。
溅射金靶材又有平面金靶材和旋转金靶材之分。
平面金靶材是片状的,有圆形、方形等。
旋转金靶材是管状的,利用效率高,但不易加工,要通过高纯金挤压、拉伸、校直、热处理,机加工等多种加工工序才能最终制得金旋转靶材成品。
目前市场上金靶材的概况:
靶材名称 | 金靶材 | ||
常用纯度 | 99.95%(3N5) | 99.99%(4N) | 99.999%(5N) |
常用尺寸 | 直径50.8*5mm 、直径101.6*5 等 |
高纯金靶材原料的制备
金靶材原料提纯的目的就是除去杂质以提高金的纯度,获得符合各种不同要求的金靶材产品,以满足市场交易的要求。常用的金靶材原料提纯的工艺有熔融氯化法、电解精炼法、化学溶解沉淀法和溶剂萃取法等。
金靶材黄金原料杂质标准
4N和5N金的杂质含量标准
1、有了高纯度金锭作为原材料,对原材料进行锻造、轧制、热处理等,使金锭内晶粒变细小、致密度增加以满足溅射所需金靶材的要求。
对变形处理后的高纯金材料进行机械加工,金靶材加工要求精度高、表面质量高,加工成真空镀膜机所需的靶材尺寸就可以了,金靶材与镀膜机通过机械结构相连接。